Die NWL-200-Serie bietet die ersten Waferloader für Prüfmikroskope, die 100 µm Wafer aufnehmen können. Die Schwierigkeiten früherer Modelle bezüglich der Erkennung der Verformungen der Wafer wurde durch eine Optimierung der Anordnung der Sensorstrahlen erreicht und gewährleistet ein noch sichereres Handling der Wafer. Die umfassenden Optionen für die makroskopische Prüfung, die verbesserte Ergonomie, die intuitive Bedienoberfläche sowie der hohe Durchsatz runden das Gesamtpaket ab.

• Erste Waferloader, die 100 µm Wafer aufnehmen können
• Optimierte Erkennung der Waferverformung
• Kontaminationsfreies System durch photoelektrische Sensoren
• Hohe Zuverlässigkeit und Sicherheit auch im Störfall
• Vielseitige Möglichkeiten der makroskopischen Überprüfung
• Verbesserter Durchsatz
• Ergonomisches Design
• Intuitive Bedienoberfläche durch hierarchischen Aufbau der Anzeigen