Nikon Eclipse L300ND

12“/300mm Halbleitermikroskop für Wafer-Inspektion

Die Nikon Mikroskope der Baureihe Eclipse L300N/L300ND sind hochpräzise und zuverlässige Systeme für die Inspektion und Review von 12“/300mm Wafern. Die Nikon CFI60-2 Objektive liefern dank des hohen Auflösungsvermögens brillante, helle und scharfe Bilder. Die hohen Arbeitsabstände der CFI60-2 Objektive ermöglichen einfache Zugänglichkeit und gleichzeitig Schutz der Wafer. Die Nikon Eclipse L300N und L300ND Stative können mit 300mm Wafer-Handling Systemen anderer Hersteller kombiniert werden.

Hauptmerkmale

  • 2 Stative: L300N für Auflicht / L300ND für Auf- und Durchlicht
  • Kontrastverfahren: Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation & DIC
  • EPI Fluoreszenz Einrichtung für 365nm Anregung
  • Motorisierter 6-fach Objektivrevolver (Objektive zentrierbar)
  • Ergonomischer Foto-Tubus (Winkel- und Höhenverstellung)
  • CFI60-2 Optik – höchste Qualität & extrem lange Arbeitsabstände
  • Aufrüstbar mit motorisiertem XY-Tisch
  • Aufrüstbar mit motorisierter Z-Achsen - Ansteuerung
  • Aufrüstbar mit Kamerasystem von Nikon oder anderer Hersteller
  • Aufrüstbar mit Aufnahme- und Messsoftware Nikon „NIS Elements“ oder anderer Hersteller

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